无尘室内防止微粒子污染的基本原则：

　 不携入

　　在无尘室内不携入微粒子的方法有：

　　作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

　　进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

　　机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

　　无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

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无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。

洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：

大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。

小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。

圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒

伸缩杆：增大清扫范围领域。

软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到第1过滤系统。

集尘袋：洁净室吸尘器的第1过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和***过滤器有重要作用。

电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。

***过滤器：***过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是***后一个环节，***过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。