复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

洁净厂房无尘室测试目的是什么呢?其中很大部分业主都是根据净化工程开始的设想来完成测试的指标，当然这是***直截了当的目标及方法，毕竟我们在建设无尘室的意愿也是如此，要达到我们的空气洁净度有需求。在单流向型无尘室，风速测量的位置可由业主预定，一般是在滤网表面或是工作高度。但是需注明是滤网风速测量（滤网表面）或是无尘室室内风速测量（工作高度）。洁净厂房，无尘室，洁净室--洁净厂房无尘室测试目的。

若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的***性。