每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

无尘室的优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。

无尘室的缺点：乱流造成的微尘粒子于室内 空间飘浮不易排出，易污染制无尘室程产品。另外若系统停止运转再重启，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

分析国外试验资料可以认为

⑴ 无尘室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人

⑵ 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人

⑶ 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人

⑷ 无口罩发菌量：有口罩发菌量 1:7~1:14

⑸ 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例：

⑹ ***中人员发菌量 878个/ min.人

所以，可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。

除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3～5%浓度的IPA或***，以增强去污能力，由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免***地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。