任何类型的探测系统的性能特点都会受到使用者所采取的测量流程的影响。例如，仪器的动态误差取决于探测方向、探测速度、距离以及加速度值等特性。

以下所列的参数是根据它们能对使用触发式测头的三坐标测量机的影响的参数。

1、探针轴的长度

2、探针轴的横截面积

3、逼近表面的距离

4、逼近表面的速度

5、逼近表面的方向

6、探针轴的安装

7、工件的方向

8、工件的位置

9、测量时的探测力

10、测头中返程弹簧的压力

11、探针轴的机械性能

12、探针尖部的形状（球面）

13、接触条件（特别是污垢）

对于测量来说，要求三坐标测量器具的测量范围要大于被测量的量工件的大小，但不能相差太大。如果用测量范围大的三坐标测量器具测量小型工件，不仅不经济，操作也不方便，而且测量精度难以保证。

比较测量中的三坐标测量器具的选用对于比较测量来说，三坐标测量器具的示值范围一定要大于被测量的参数公差值。

在测量形状误差时，三坐标测量器具的测量头要往复运动，因此要考虑回程误差的影响。当工件的精度要求高时，应当选择灵敏度高、回程误差小的高精度三坐标测量机。对于薄型、软质、易变形的工件，应该选用测量力小的三坐标测量。

对于粗糙的表面，尽量不使用精密的三坐标测量器具去测量。

在单件或小批量生产中选用一般或通用型三坐标测量机即可，对于大批量生产则应优先考虑专用三坐标测量器具。

非接触式三坐标测量的主要缺点：

(1) 因为非接触式测头大多是接收被测件表面的反射光或散射光，容易受到被测件表面的反射特性的影响，如颜色、斜率等；

(2) 测头容易受到环境光线及杂散光影响；

(3) 非接触式测量只做被测件轮廓坐标点的大量取样，不能进行面上指1定点的测量，对边线及凹孔等的处理比较困难；

(4) 使用光学测头测量时，测量镜头的焦距调整会影响测量精度；

(5) 被测件表面的粗糙度会影响测量结果；

(6) 光学阴影处及光学焦距变化处是测量死角。