压力传感器被广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军i工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用***为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性,下面我们主要介绍这类传感器。
当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异,因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计,前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化,后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应变),而且前者的灵敏度比后者大50~100倍。
压阻式压力传感器优缺点
优点:
1.频率响应高,f0可达1.5M
2.体积小,耗电少
3.灵敏度高,精度高,可测量0.1%的精i确度
4.无运动部件(敏感元件与转换元件一体)
缺点:
1.温度特性差
2.工艺复杂
封装材料的选择决定传感器的性能
由于半导体材料对温度十分敏感,所以使用过程中会存在零漂、温漂等一系列问题,通过软件补偿能够解决一些问题,但封装的影响同样不容忽视,这包括封装所选材料的电性能、挥发性,以及受热受寒膨胀收缩系数等等都可能使传感器性能下降,稳定性下降,甚至会使传感器无法使用。
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