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影响因素

1 ．频率

射频 PECVD 系统大都采用 50kHz~13.56 MHz 的工业频段射频电源。较高频率（ gt;4MHz ）沉积的氮化硅薄膜具有更好的钝化效果和稳定性。

2 ．射频功率

增加 RF 功率通常会改善 SiN 膜的质量。但是，功率密度不宜过大，超过 1W/cm2 时器件会造成严重的射频损伤。

3 ．衬底温度

PECVD 膜的沉积温度一般为 250 ～ 400 ℃ 。这样能保证氮化硅薄膜在HF 中有足够低的腐蚀速率，并有较低的本征压力，从而有良好的热稳定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉积的氮化硅膜，本征应力很大且为张应力，而温度高于 450 ℃ 时膜容易龟裂。

4 ．气体流量

影响氮化硅膜沉积速率的主要气体是 SiH4 。为了防止富硅膜，选择NH3/SiH4=2~20 （体积比）。气体总流量直接影响沉积的均匀性。为了防止反应区下游反应气体因耗尽而降低沉积速率，通常采用较大的气体总流量，以保证沉积的均匀性。

5 ．反应气体浓度

SiH4 的百分比浓度及 SiH4/NH3 流量比，对沉积速率、氮化硅膜的组分及***性质均有重大影响。

理想 Si3N4 的 Si/N ＝ 0.75 ，而 PECVD 沉积的氮化硅的化学计量比会随工艺不同而变化，但多为富硅膜，可写成 SiN 。因此，必须控制气体中的 SiH4 浓度，不宜过高，并采用较高的 SiN 比。除了 Si 和 N 外， PECVD 的氮化硅一般还包含一定比例的氢原子，即 SixNyHZ 或 SiNx :H 。

6 ．反应压力、和反应室尺寸 等都是影响氮化硅薄膜的性能工艺参数。

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影响因素

1. 温度

温度过高，首先就是 IPA不好控制，温度一高， IPA 的挥发很快，气泡印就会随之出现，这样就大大减少了 PN 结的有效面积，反应加剧 ， 还会出现片子的漂浮，造成碎片率的增加。

可控程度：调节机器的设置，可以很好的调节温度。

2. 时间

金字塔随时间的变化：金字塔逐渐冒出来；表面上基本被小金字塔覆盖，少数开始成长；金字塔密布的绒面已经形成，只是大小不均匀，反射率也降到比较低的情况；金字塔向外扩张兼并，体积逐渐膨胀，尺寸趋于均等，反射率略有下降。可控程度：调节设备参数，可以调节时间。

3.IPA

1. 协助氢气的释放。 2. 减弱 NaOH 溶液对硅片的腐蚀力度，调节各向因子。纯 NaOH 溶液在高温下对原子排列比较稀疏的 100 晶面和比较致密的 111 晶面***比较大，各个晶面被腐蚀而消融， IPA 明显减弱 NaOH 的腐蚀强度，增加了腐蚀的各向异性，有利于金字塔的成形。乙醇含量过高，碱溶液对硅溶液腐蚀能力变得很弱，各向异性因子又趋于 1 。

可控程度：根据配液的含量，及每次大约消耗的量，来补充一定量的液体，控制精度不高。

4.NaOH

形成金字塔绒面。 NaOH浓度越高，金字塔体积越小，反应初期，金字塔成核密度近似不受 NaOH 浓度影响，碱溶液的腐蚀性随 NaOH 浓度变化比较显著，浓度高的 NaOH 溶液与硅反映的速度加快，再反应一段时间后，金字塔体积更大。 NaOH 浓度超过一定界限时，各向异性因子变小，绒面会越来越差，类似于抛光。可控程度：与 IPA 类似，控制精度不高。

振鑫焱光伏科技有限责任公司长期购置：天价回收硅片，电池片，初中级多晶硅，银浆布，单晶硅，多晶硅，太阳电池，太阳能组件，太阳能光伏板，顾客撤离，退级，库存量，El，欠佳检测，2手，旧，工程项目，拆装，道路路灯，单晶硅抛光片回收，拆卸发电厂，拆装，人造板，层压板，***限结晶硅，多晶硅，单晶硅，试验板，负债还款，返修，太阳能发电控制模块收购等。

中国锂电池回收有关现行政策

在我国驱动力锂电池回收上坡过晚，锂电池回收现行政策和规范尚不足健全，一部分处在征询建议环节。

2012年7月，国务下发《环保节能与新能源车发展趋势产业发展》中明确提出：①奋力到2015年EV PHEV总计销售量达50万亿元，到2020年总计产供销超500万亿元；②提升动力锂电池梯阶运用和收购管理方法。2014年7月《有关加速新能源车应用推广的实施意见》中强调：制订锂电池回收现行政策、完善锂电池回收管理体系。2015年5月《中国制造业2025》上将“绿色发展理念”做为发展战略指导方针，发展规划中提及：工业生产废弃物回收使用率至2015年规定超过65%，2020年73%，2025年则为79%。

2016年1月《纯电动车动力电池综合利用技术性现行政策》中明确充电电池生产制造实施编号制、创建可回朔管理体系；确立选用经营者义务拓宽规章制度，充电电池制造商担负锂电池回收的关键义务。2016年12月《新能源车动力电池综合利用管理方法暂行规定（征求意见）》中谈及：为有利于充电电池的再次收购，在充电电池设计阶段要遵照易拆装标准，加工过程中务必喷码标识；除此之外管理条例中还涉及充电电池的市场销售、运用、存储及运送中与废旧电池回收的多种多样要求，是现阶段比较详尽的一整套提议。

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