电池片的制作工艺

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PECVD

PE 目的

在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。

其化学反应可以简单写成 ： SiH 4 NH 3 =SiN:H 3H 2 。

基本 原理

PECVD 技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。 PECVD 方法区别于其它 CVD 方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的***能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低 CVD 薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的 CVD 过程得以在低温下实现。

基本特征

1. 薄膜沉积工艺的低温化（ lt; 450 ℃ ）。

2. 节省能源，降低成本。

3. 提高产能。

4. 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减。

扩散方式

PE 设备有两类：平板式和管式。

按反应方式分为：直接式（岛津）和间接式（ Roth ＆ Rau ）。

直接式：基片位于一个电极上，光伏板，直接接触等离子体。

间接式：基片不接触激发电极。 在微波激发等离子的设备里，等离子产生在反应腔之外，然后由石英管导入反应腔中。在这种设备里微波只激发 NH3 ，而 SiH4 直接进入反应腔。间接 PECVD 的沉积速率比直接的要高很多，这对大规模生产尤其重要。

太阳电池片标准

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5.1.5 尺寸

电池尺寸的检验采用分辨力优于0.02mm 的卡尺测量，电池的厚度采用分辨力优于 0.01mm 的千分尺测量。

电池的角度偏差采用分辨力优于0. 1° 的量角器测量。

电池的厚度偏差和总厚度偏差检验参照 GB/T6618 进行

5.1.6 外观

在照度不小于 800Lux的白色光源下对电池的表面颜色进行目测。

电池的崩边、钝性缺口等外观缺损的尺寸检测，采用分辨力优于 0.02mm 的量具测量。 5.2 力学性能

5.2.1 弯曲变形

使用表面平整度优于0.01mm 平台，电池背面朝下水平放置，用分辨力优于 0.01mm 的量具进行检验。

5.2.2 电极附着强度或电极 / 焊点抗拉强度

电极的附着强度和电极 / 焊点的抗拉强度试验采用同一方法，。将一根长 150mm ，宽 1.7mm 的焊锡条引线焊接在电池电极上，焊接长度为 10mm ，焊接质量以不虚焊为准，在与焊接面成 45 °对引线施加拉力，逐渐加大拉力，在拉力不低于 2.49N 的情况下持续 10s 以上。

5.3 电性能

5.3.1 电性能参数的温度系数测量电池的温度系数测量按SJ/T 10459 进行。

5.3.2 电性能参数测量

电池的电性能参数测量按GB/T6495.1 和 GB/T6495.3进行。

5.3 热循环试验

将测试电池样品间隔的放置在环境试验箱（相对湿度小于 60% ）中，太阳能光伏板回收价格表，按图 4 的温度分布，使电池的温度在 -40 ℃± 2 ℃ 和 85 ℃± 2 ℃ 之间循环。在两个极端温度的保持时间不少于 10min ，循环次数 5 次。再按本标准的规定对电池的外观、力学性能和电池转换效率进行检测。

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