制版(多图)-湖州光刻板
作者:苏州制版2020/5/1 4:50:11

公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!

菲林在使用中需注意的事项

激光照排菲林中含有防光晕层,在定影、水洗的过程中有一些会脱落,在片基上形成淡蓝色的水斑,可在定影液中加入适量的坚膜剂消除。水洗槽要经常保持清洁,每天在工作结束后要将水槽中的水放掉,用干净的纱布擦干。每次加水之前要先将水放掉一些以除掉水锈,每周至少要坚持清洗水辊一次。



掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。

在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,光刻板,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。


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图形扩展和收缩即从栅极开始的尺寸操作,例如栅极处的注入层尺寸扩大了。除了对应于电路的图案之外,完整的光掩模图案还包括一些辅助图案或测试图案。常见的图案包括光标、光刻对准图案和***i灯光控制图形、测试关键图形、光学对准目标图形、划线槽图形以及其他LOGO名称、版本等。


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