荷兰的A***L公司垄断了高i端光刻机。但其透镜来自德国的蔡司,自己也做不了。光源是美国的Cymer.所以说它也不是完全技术***。主要是技术难度太大。
其次是资金上的困难:
光刻机由于技术难度大,研发资金投入巨大,以至于佳能和索i尼都亏损严重,已经停止研发,退出未来技术的竞争。
荷兰的A***L,为了筹集i资金,同时也是进行上下游利益***,研发风险共担,邀请英特尔、三星和台积电出资,做自己的大股东。A***L实际上是美、日、韩、德等共同***的项目,资金充裕。
中国也在此方面有长期投入,但投入水平和不能和多国合作同日而语。中国有相对宽裕的研发资金,也才是近7、8年的事情,而光刻机的研发,10年都显然不够。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
光掩膜除开运用于集成ic生产制造外,还普遍的运用与像LCD,PCB等层面。普遍的光掩膜的类型有几种,铬版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。关键分2个构成,基钢板和不透原材料。基钢板一般 是高纯,低透射率,低线膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透层是根据溅射的方式镀在夹层玻璃正下方厚约0.1um的铬层。“刻蚀”是光刻后,用浸蚀液将霉变的那一部分光刻胶浸蚀掉(正胶),圆晶表层就凸显集成电路工艺以及联接的图型。铬的强度比夹层玻璃略小,虽不容易损伤但是将会被夹层玻璃所损害。运用于集成ic生产制造的光掩膜为高敏***的铬版。
光呆板业界别称光掩模板、掩膜版,光罩,英文名字
MASK
或
PHOTOMASK),材料:石英玻璃、金属铬和光感应胶,该商品是由石英玻璃或是碳酸钠夹层玻璃做为衬底,在其上边镀上一层层金属铬和光感应胶。在塑料薄膜、塑胶或夹层玻璃化学反应原材料上制做各种各样作用图型并精i明确位,便于用以光致抗蚀剂镀层可选择性曝
i
光的这种构造,称之为光刻掩模板。菲林在使用中需注意的事项其他条件不变,显影液的浓度越高,温度越高,则胶片的高密越高。
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