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菲林在使用中需注意的事项
激光照排菲林中含有防光晕层,在定影、水洗的过程中有一些会脱落,在片基上形成淡蓝色的水斑,可在定影液中加入适量的坚膜剂消除。水洗槽要经常保持清洁,每天在工作结束后要将水槽中的水放掉,用干净的纱布擦干。掩模板上的图案被转移到晶片表面顶层的光致抗蚀剂上,并且在后续工艺中保护下面的材料(蚀刻或离子注入)。每次加水之前要先将水放掉一些以除掉水锈,每周至少要坚持清洗水辊一次。
集成电路工业中的“掩模”是光掩模
屏蔽数据:
在半导体制造的整个过程中,部分是从布局到晶片制造的过程,即光掩模或掩模制造。这部分是流程连接的关键部分,也是流程中***昂贵的部分。
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较高的部分也是限制***i小线宽的瓶颈之一。
在半导体制造中,许多芯片工艺步骤采用光刻技术,用于这些步骤的图形“底片”称为掩膜(也称作“掩模”),其作用是:在硅片上选定的区域中对一个不透明的图形模板遮盖,继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。
选定的图像、图形或对象用于阻挡已处理的图像(全部或部分),以控制图像处理区域或过程。用于覆盖的特定图像或对象称为遮罩或模板。在光学图像处理中,掩模可以是薄膜、滤光器等。在数字图像处理中,掩模是二维矩阵阵列,有时也使用多值图像。
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