光刻板- 苏州制版(图)
作者:苏州制版2020/3/8 22:12:01

掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。

在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。


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蚀刻或离子注入完成后,将进行光刻的***后一步,即光致抗蚀剂去除,以促进半导体器件制造的其他步骤。通常,在半导体器件的整个制造过程中,执行许多光刻工艺。生产复杂集成电路的过程可能需要多达50个光刻步骤,而生产薄膜所需的光刻步骤数量将更少。


在描绘时,选用步进电机机描绘(stepper),在其中有电子束和激光器之分,粒子束立即在有涂铬层的4-9“玻璃板上描绘,边沿起始点5mm,与电子束对比,其弧型更真实,图形界限与间隔更小。光掩膜有掩膜正版(reticlemask,也是称之为正中间掩膜,reticle做为企业译成光纤传感器),用步进电机机反复将占比变小到mastermaks上,运用到具体曝i光中的为工作中掩膜(workingmask),工作中掩膜由mastermask复i制回来。


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