苏州制版位于苏州工业园区生物纳米园,是集研究、设计、生产、销售于一体,***制作高精度掩膜版的企业,拥有高标准的全净化厂房,优i秀的高素质人才、***的研发团队。 苏州制版,面向中小企业、大学、研究所客户,提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版!根据客户的构想、草图,独i家定制版图提供技术咨询服务!
苏州制版提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版,目前投入生产有多台激光直写设备以及电子束曝i光设备。常规铬版CD精度±0.2um,高精石英铬版精度±0.07um。菲林版分辨率20um以上精度±2um。曝i光设备外,还拥有全自动显影柜,可以批量进行显影处理,保证生产能力。在图形检验阶段我们拥有自动光学检验机台(AOI),通过图形逻辑对比分析取样,修补能力1.2um,精度±0.1um。可以有效地排除缺陷问题。
荷兰的A***L公司垄断了高i端光刻机。但其透镜来自德国的蔡司,自己也做不了。光源是美国的Cymer.所以说它也不是完全技术***。主要是技术难度太大。
其次是资金上的困难:
光刻机由于技术难度大,研发资金投入巨大,掩膜版,以至于佳能和索i尼都亏损严重,已经停止研发,退出未来技术的竞争。
荷兰的A***L,为了筹集i资金,同时也是进行上下游利益***,研发风险共担,邀请英特尔、三星和台积电出资,做自己的大股东。A***L实际上是美、日、韩、德等共同***的项目,资金充裕。
中国也在此方面有长期投入,但投入水平和不能和多国合作同日而语。中国有相对宽裕的研发资金,也才是近7、8年的事情,而光刻机的研发,10年都显然不够。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
为了避免掩模对要蒸发的衬底造成损坏,通常在掩模上设置保护膜,并且保护膜由有机材料制成。当保护膜接触要蒸发的基板时,保护膜对要蒸发的基板造成的损害小于掩模对要蒸发的基板造成的损害。
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