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激光干涉仪的类型有哪些？

您知道激光干涉仪的类型有哪些吗？

1、单频激光干涉仪

从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。校验测针要注意的问题：测针校验后的校正直径小于名义值，不会影响三座标测量机的测量精度。

为什么要校验三坐标的测针

测头作为测量机的传感器，是坐标测量系统中非常重要的部件，三坐标测量机的工作效率、精度与测头密切相关，没有***的测头，就无法发挥三坐标测量机大功能，按测量方式，可将测头分为接触式（触发式）和非接触式两大类，本文***讲的是触发式测头。正确选择和使用测针是影响三坐标测量机的测量精度的重要因素。可伸缩杆上安装着可记录伸长量的位移测量装置用于测量沿连杆方向的长度变化。

三坐标测量机控制柜在收到这些点后（只得是红宝石球中心坐标X、Y、Z 值），进行标准球的拟合计算，得出拟合标准球的球心坐标值、标准球直径和形状误差。当其长度变化时，内杆移入线圈，感应系数发生变化，检测电路将电感信号转变成分辨率为0。将拟合球的直径减去标准球的实际直径，就得出校准后测针宝石球‘直径’校准球是一个已知直径的标准球，校准测针的过程实际上就是对这个已知直径的标准球测量直径的过程，该球的测量值等于标准球的直径加测针的直径，这样就可以确定测针的直径（确切的讲应该是测针校正值）.

当有其他不同角度、位置或不同长度的测针按照以上方法校验后，有各拟合球中心点坐标差别，就得出各个测头之间的位置关系，三坐标测量软件自动生成测头关系。当我们使用不同角度，位置和长度的测针测量同一零件不同部位的元素时，三坐标测量软件都把他们转化到同一个测头（通常是默认A：00、B：00）上，就像一个测针测量一样，凡是在经过在同一标准球上（未添加新的角度位置的）校准的测针，都能准确实现这种自动转换。在实践中，机床几何尺寸中的很多因素、控制系统及磨损都可能造成测试圆半径及其形状偏离设定圆。