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激光干涉仪的类型有哪些？

您知道激光干涉仪的类型有哪些吗？

1、单频激光干涉仪

从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。数据采集实时显示在屏幕上，因此在测试过程中可以检测到所有误差或问题，然后测试结束，无需浪费额外时间（如果在慢进给率下执行大半径测试，则更为重要）。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

球杆仪

具有操作简单、携带方便的特点，其工作原理是将球杆仪的两端分别安装在机床的主轴与工作台上(或者安装在车床的主轴与刀塔上)，测量两轴插补运动形成的圆形轨迹，并将这一轨迹与标准圆形轨迹进行比较，从而评价机床产生误差的种类和幅值。

讲解球杆仪测试

数据采集：360°测试“传统”的测试要求机床执行两个连续圆，一个为顺时针方向，一个为逆时针方向。在实践中，另有一段圆弧被添加到测试圆的前面和后面，允许机床先加速，然后再减速。通过使用加长杆，可以选择测试半径，以反映机器的尺寸和对特定问题的敏感度（例如，大半径的圆更适合突出显示机床几何误差，小半径的圆则对伺服不匹配或滞后更敏感）。从原始的目测、步测法到后来的米尺、游标卡尺、千分尺等测量法，再到应变片、电流电压感应等测量法，电磁相干和相位测量，光栅测量到现在的激光测量。 正如您所看到的，一旦设定，很快就能完成标准测试！数据采集实时显示在屏幕上，因此在测试过程中可以检测到所有误差或问题，然后测试结束，无需浪费额外时间（如果在慢进给率下执行大半径测试，则更为重要）。