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双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。

在激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。在实践中，机床几何尺寸中的很多因素、控制系统及磨损都可能造成测试圆半径及其形状偏离设定圆。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。

轴类零件的在线测量

在线测量时，要充分考虑到零件在线测量元素能充分地采到点，需要把零件校正。注意大多数情况下，必须要校正两个方向。比如说，零件垂直工作台，基准圆朝Y负摆放时，需要校正X及Z两个方向，确保锁定Y轴时，整个端面都与测针运动方向平行。这时，才可以继续往下考虑在线测量的事情。从以上所叙的校验测针的原理中可知，标准球直径值直接影响测针宝石球直径的校验值，虽然这是一个小概率事件，但是对初学者来说，这也有可能发生的。 其次是选在线测量测针。在线测量测针要根据零件测量元素来定，如果基准相对长一点，端面台阶面有采点的位置，可以考虑用直径稍大的在线测量测针，若是基准较短，而且某一端面中间存在凸台，余量较小，那么从整个零件的在线测量出发，可能就需要选用直径小一号的在线测量测针。

微位移球杆仪一般是利用线性位移传感器（LVDT）检测位移变化量的，连杆长度变化范围比较小，一般应用于测量数控机床作圆弧插补运动时的半径变化量。而伸缩式球杆仪一般采用激光干涉仪来记录沿连杆方向的长度变化，因而其连杆长度变化范围要比微位移球杆仪大得多。可伸缩杆上安装着可记录伸长量的位移测量装置用于测量沿连杆方向的长度变化。