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瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，Viber X5振动分析仪公司，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是世界上精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准，VC微振动标准分为：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。***名的光刻机制造商荷兰A***L要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS，无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

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瑞典VMI振动分析仪VIBER X5规格说明：

常规功能

停机测试

停机程序用来分析当机器的转速逐渐降低的过程中，例如停机时可测量机器的共振和临界转速。仪器以两个绘图显示该测量，振幅和相位随机器转速变化的曲线。

Vibshape

这是一个 ODS 动画模块，上海Viber X5振动分析仪，主要用于分析设备结构的变形共振等结构性的振动，通过 ODS 动画的方式呈现出来，便于振动分析师快速且准确的提交解决方案。

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瑞典VMI多功能振动分析仪Viber X5是广受用户欢迎的Easy Viber的更新换代产品。ViberX5 利用了Texas 仪器处理器的性能强，具备工业应用中快速的DSP 处理器，同时继承了历经时间考验的被广泛认可的功能特性，快捷完成各种现场振动分析工作。

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