无尘车间洁净室管理制度

1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。

2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。

3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。

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无尘室按用途分类：

　　1.工业无尘室---主要控制无生命微粒对工作对象的污染，其内部一般保持正压，它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度。. M# l* U. M1 o) ]

　　2.生物无尘室---以有生命微粒的控制为对象，又可分为：一般生物无尘室，主要控制有生命微粒对工作对象的污染。生物安全无尘车间主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染，不同的是室内要求静压比周围环境低一定数值，用于研究实验设施实验室和生物工程。生物无尘室与一般工业的无尘室本质是一样的，不同的是生物无尘室对***的含量要有控制。2、洁净度与换气次数房间的洁净度取决于单位时间的换气次数，因此慎密考虑房间的工作性质，以及生产工艺要求，再决定净化系统的技术参数。