




无尘车间的节能原则
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。高的效率的设计和高的效率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。后期的调查,业主反映由我司建造(改造)的电子洁净室(区)生产出的产品合格率高达99。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中 。
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在应用洁净室技术的相关行业中,电子行业对洁净及相关受控环境依赖性大,洁净技术在电子行业应用约占整个洁净行业市场的67%。在我国,电子行业每年花费在洁净室方面的费用约为50亿元,其中,以集成电路芯片生产线为代表的微电子行业每年约30亿元。另外,平板显示(FPD)产业作为支撑我国电子信息产业持续发展的战略性产业,也是洁净室相关供应商的重要用户。如果过滤器的使用寿命以终阻力为依据,风速高,过滤器的使用寿命就短。据调查,世界上面积大的洁净室即应用于平板显示行业,一个单体的洁净室厂房面积可容纳32架飞机。
洁净技术对我国电子信息产业发展意义重大,因为它与产品的成品率有着直接关系。电子行业对生产环境的要求非常高,特别是对直径小于1微米的颗粒特别敏感,因为它们能引起金属层之间的短路。
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