无尘车间洁净室管理制度

1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。

2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。

3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。

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无尘车间的风速影响

小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。各项厂务设施之供应如水、气体和***于进入生产设备前应有过滤设备。经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。

与扩散的效果类似，当过滤材料带静电时(驻极体材料)，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大。改变风速，带静电材料的过滤效率会明显改变。如果你知道材料上有静电，进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。

对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘，根据传统理论，风速降低后，粉尘与纤维碰撞的几率会减少，过滤效率会随之降低。但在实践中这种影响并不明显，因为风速小了，纤维对粉尘的反弹力也小了，粉尘更容易被粘住。

请注意你所需要的产品的档次，国内市场上超净工作台一般分档为：

经济型：采用国标的空气过滤器，指标低于国际标准，外观也欠佳;风机一般是采用国产的普通风机，刚开始工作时性能较好，时间长了性能无法保证;为了降低成本，多不采用外排空气过滤器;控制系统简单，外观欠佳。

普通型：全进口的或多采用国外原料和国外技术在国内生产的空气过滤器，性能接近进口产品;风机采用中档产品，也有用的风机，比较可靠，但多数不是为超净工作台的特殊需要而设计的，所以长时间使用中的风量不均匀是它的特点;综合性能比较好，不过控制系统比较简单，玻璃门一般是手动的。在高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0。

全进口产品或多采用原装的过滤器;风机使用的是按超净工作台使用特性设计的进口的风机;主要性能较普通型为高;控制系统为用户专门优化过：玻璃门多数是由电动机驱动的，箱体内有传感器，可以反映过滤器的工作情况，以提高产品的可靠性，少数产品使用嵌入式控制系统。无锡市恒盛净化空调有限公司业务范围面向***，提供净化工程，洁净工程，洁净室、无尘室、净化室、无尘车间、空调净化、万级净化工程、千级洁净室、百级无尘室、超净间、净化无尘室、无菌净化工程、净化房。