无尘车间洁净室管理制度

1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。

2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。

3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。

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无尘车间的管理标准

1. 人员进入无尘车间必须按个人卫生与工作服装管理要求，穿戴本区域的工作服装，按净化工程程序进入无尘车间。洁净区内操作人员应控制到低限度，限制非操作人员进入。

2. 凡无尘区使用的物料、器具、工艺用水等必须按规定程序净化。进入无菌室的物品，要在室外处理，灭菌后经过传递窗或气闸室送入无尘区内。

3. 无尘度百级、万级区域的空调宜连续运行。非连续运行的无尘车间，可根据工艺要求，在非制剂时间，空调系统作值班运行，使室内保持正压。