净化车间复合式（Mixed Type）

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

（1）洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

（2）洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为***适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。

净化车间配置好的药液，需要使用适当孔径的过滤器进行过滤，以便去除药液中的杂质和xi菌，通常药液过滤采用两级以上不同孔径的过滤器串联过滤，有时还需脱碳处理，去除热源物质***后通过一个孔径为0.22um的微孔过滤器对药液过滤chu菌。净化车间***生产中采用的chu菌滤膜孔径一般不超过0.22um，过滤器不得对被滤过成分有吸附作用，也不能释放物质，不得有纤维脱落，禁用含石棉的过滤器，滤器和滤膜在使用前应进行洁净处理，并用高压蒸汽进行灭菌或做在线灭菌。过滤器材通常由滤柱、滤膜，滤柱系用硅藻土或垂熔玻璃等材料制成；滤膜大多由聚合物制成，种类较多，如醋酸纤维素、硝suan纤维素、聚***等，除jun级的滤膜孔径为0.22um。

在美国工业洁净室进入广泛应用时期，开始尝试利用工业洁净室进行生物无菌实验。通过研究和实验，人们认识到空气中的病毒是附着在尘埃上以群体 存在的。***、其它动物体以及土壤中产生的病毒，会附着在尘粒、皮屑、毛发、水滴上随空气传播。由此可见，尘埃是传播病毒的媒介。空气中的尘 埃越多，病毒的传播机会越多。如果对空气中的尘埃粒子进行了控制和处理，就是控制了病毒。在这个理论基础上，20世纪70年 代初，美国等技术***的***大规模地把工业洁净室技术用于防止以空气为媒介的微生物污染的领域，从而诞生了现代生物洁净室，使制药工业、化妆品工业、食品 工业的产品质量大为提高。在***室和特殊病房以及生物安全方面，洁净室的推广和应用，使人们的******和抗***控制得到了保障。