a.磨损、切削均为发生微尘之原因,故需将发尘部分掩盖之。
b.易产生尘埃之设备,若能的话应布置于风尾地点。
c.在操作时,尽量减少接触零件或产品。
d.不得有太大或不必要的操作动作,以免卷起附近之灰尘。
e.各项厂务设施之供应如水、气体和***于进入生产设备前应有过滤设备。
f.为不使气体或液体滞留,造成微污染,故管路配置应有旁路阀之设置。
3.自动化与无尘化:
a.设立自动化传送系统,可减少人员方面所带来的污染,唯费用相当昂贵,须详加评估。
b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定,无尘室作业人员作业规则,无尘室管理规则等。
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一、什么是无尘净化车间。净化车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
二、无尘净化车间的原理。净化车间是利用HEPA、空气净化设备,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而净化车间内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
三、无尘净化车间中的三尘。无尘净化车间有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的净化设备之一,它可以大的限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域,达到生产车间所要求的生产洁净环境。
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1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功,现场的每一位人员都必须遵守。
2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。
3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
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