净化车间工程的洁净度怎样达到要求

送风洁净度：

对0.1μm粒子要求控制的洁净室，不论控制的粒子浓度高低均要选择D类过滤器。以上所述仅从过滤器角度出发，实际上要选择好过滤器还要***考虑洁净室特性、过滤器特性和净化系统特。

要保证送风洁净度，仅有合格的过滤器是不够的，还要保证。

a.运输、安装过程不损坏过滤器;

b.安装严密。

净化车间复合式（Mixed Type）

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

（1）洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

（2）洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为***适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。