电池片的制作工艺
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刻蚀工艺
刻蚀目的
将硅片边缘的带有的磷去除干净,避免 PN 结短路造成并联电阻降低。
刻蚀原理
采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应, 采用高频辉光放电反应,使反应气体***成活性粒子,如原子或各种游离基,这些活性粒子扩散到硅片边缘,在那里与硅进行反应,形成挥发性生成物***而被去除。
化学公式: CF 4 SIO 2 =SIF 4 CO 2
工艺流程
预抽,主抽,送气,辉光,抽空,清洗,预抽,主抽 ,充气。
影响因素
1. 射频功率
射频功率过高:等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤,导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区(耗尽层)造成的损伤会使得结区复合增加。
射频功率太低:会使等离子体不稳定和分布不均匀,从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足,导致并联电阻下降。
2. 时间
刻蚀时间过长:刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大,时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区,从而导致损伤区域高复合。
刻蚀时间过短:刻蚀不充分,没有把边缘鳞去干净, PN 结依然有可能短路造成并联电阻降低。
4. 压力
压力越大,气体含量越少,参与反应的气体也越多,刻蚀也越充份。
烧结
烧结目的
干燥硅片上的浆料,燃尽浆料的有机组分,使浆料和硅片形成良好的欧姆接触。
烧结对电池片的影响
银浆的烧结很重要,对电池片电性能影响主要表现在 串联电阻和并联电阻 ,即 FF 的变化。
铝浆烧结的目的使浆料中的***完全挥发,并形成完好的铝硅合金和铝层。局部的受热不均和散热不均可能会导致起包,严重的会起铝珠。背面场经烧结后形成的铝硅合金,铝在硅中是作为 P 型掺杂,它可以减少金属与硅交接处的少子复合,从而提高 开路电压和短路电流 ,改善对红外线的响应。
烧结过程
1. 室温 ~300 度,溶剂挥发。
2.300~500度,有机树脂分解排出,需要氧气。
3.400 度以上,玻璃软化。
4.600 度以上,玻璃与减反层反应,实现导电。
电池片常见异常情况处理方法
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电池片普遍异常现象解决方式
堵网:
1、生产车间溫度、环境湿度与料浆特性缘故:若溫度高、空气湿度低,料浆蒸发***就迅速挥发掉,料浆黏度变大,进而堵网。留意:停止时间太长,会造成堵网,時间越久越比较严重。次之,工作温度低,料浆流通性差也非常容易堵网,因此严控生产车间溫度与环境湿度;
2、网版:用收醇擦整洁并干躁侧后方能应用。若置放時间太久不立即包装印刷,在储存过程中就会黏附灰尘;
3、包装印刷工作压力:包装印刷工作压力过大,会使刮条弯折,刮条与网版和基钢板并不是线触碰,而成面接触,每一次包装印刷都不可以将料浆刮整洁而留有残留料浆,時间长了就会堵网;
4、包装印刷空隙有问题:很小也非常容易堵网;
5、料浆缘故:料浆颗粒物大,要保证充裕的拌和時间。
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