真空镀膜中关于靶材***的原因

靶***现象

(1)正离子堆积：靶***时，靶面形成一层绝缘膜，正离子到达阴极靶面时由于绝缘层的阻挡，不能直接进入阴极靶面，而是堆积在靶面上，容易产生冷场致弧光放电---打弧，使阴极溅射无法进行下去。（2）阳极消失：靶***时，接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜，嘉兴塑料真空电镀，到达阳极的电子无法进入阳极，形成阳极消失现象。

靶***的物理解释

（1）一般情况下，金属化合物的二次电子发射系数比金属的高，靶***后，靶材表面都是金属化合物，在受到离子轰击之后，释放的二次电子数量增加，提高了空间的导通能力，降低了等离子体阻抗，导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间，当发生靶***时，溅射电压会显著降低。（2）金属靶材与化合物靶材本来溅射速率就不一样，一般情况下金属的溅射系数要比化合物的溅射系数高，所以靶***后溅射速率低。（3）反应溅射气体的溅射效率本来就比惰性气体的溅射效率低，所以反应气体比例增加后，综合溅射速率降低。

靶***的解决办法

（1）采用中频电源或射频电源。（2）采用闭环控制反应气体的通入量。（3）采用孪生靶（4）控制镀膜模式的变换：在镀膜前，采集靶***的迟滞效应曲线，使进气流量控制在产生靶***的前沿，确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。

?汽车零部件表面处理的必要性

随着汽车工业的迅速发展，人们对汽车抵御外界环境作用能力和汽车长期运行的可靠性、稳定性、耐蚀性以及汽车的外观美观度提出了越来越高的要求。汽车损坏主要有事故损坏、磨损损坏、腐蚀损坏等三种形式，其中腐蚀损坏***为严重。

　　汽车上所使用的材料主要以金属材料为主，金属材料普遍存在着腐蚀问题。上线告诉大家，汽车零部件金属表面腐蚀不仅***汽车的外观，还直接影响汽车的使用寿命，同时带来了环境的污染，事故的发生以及材料和能源的浪费。

简述真空镀膜加工与光学镀膜加工之间的区别

真空镀膜加工主要用于产品表面装饰镀，改变产品外观，光学镀膜加工目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。 两者之间概念上的区别：真空镀膜加工主要是指高真空条件下加热金属或非金属材料，塑料真空电镀设备，使其蒸发并凝结于镀件表面形成薄膜。而光学镀膜加工是指光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。

原理的区别：真空镀膜加工是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，塑料真空电镀厂，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术。光学镀膜是借助真空溅射的方式镀制薄膜，控制基板的入射光束反射率与透过率。

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