洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。概念洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、细i菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化车间地面,无尘净化车间,墙面,顶面及门窗: 车间的地面要用防滑,坚固,不渗水,易清洁,潜江净化车间,耐腐蚀的材料铺制,净化车间地面表面要平坦,不积水。车间整个地面的水平在设计和建造时应该比厂区的地面水平略高,十万级净化车间标准,地面有的斜坡度。车间的墙面应该铺有2 米以上的墙裙,墙面用耐腐蚀,易清洗消毒,坚固,不渗水的材料铺制及用浅色,万级净化车间,防水,防霉,不易脱落,可清洗的材料覆涂。净化车间的墙角,地角和顶角曲率半径不小于3厘米呈弧形。净化车间的顶面用的材料要便于清洁,有水蒸气产生的作业区域,顶面所用的材料还要不易凝结水球,在建造时要形成适当的弧度,以防冷凝水滴落到产品上。车间门窗有防虫,防尘及防鼠设施,所用材料应耐腐蚀易清洗。窗台离地面不少于1米,并有45 度斜面。
洁净室换气次数估算:
千级洁净室不小于50次/h;万级洁净室不小于25次/h;十万级洁净室不小于15次/h。万级换气次数[1] ≥25次/小时(一般取27-28);十万级换气次数≥15次/小时(一般17-18)但是不能盲目按照换气次数进行设计风量,要考虑房间及工艺余热、余湿。
生物洁净室( biologicalcleanroom)即洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间。(******室属于生物洁净室)
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