温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。机器及材料进入无尘车间前,尽量保持在密封状态下,带进无尘车间前,须经过风淋室吹淋后,才可进入无尘车间。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别 是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
公司自成立以来始终专注于洁净室系统的研发、产品制造、工程建设、工程服务。随着电子产品的精密程度越来越高,结构越来越复杂,电子产品生产过程中的温湿度和无尘车间也需要满足越来越高的要求。在制药行业,电子、半导体制造业,航空航天、精密仪器仪表制造业,医i疗卫生、洁净***室、生物实验室、食品***、光纤光缆、科研教学等多个领域积累了大量的经验,在生物制药、电子工业、洁净***室等行业确定了领i先地位。目前,姑苏净化产品和解决方案已经应用于***34个省市自治区及***十多个***,完成洁净室系统工程千逾项。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或 电路中,就会引起各种事故。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿
车间面积与生产相适应,布局合理,排水畅通;车间地面用防滑、坚固、不透水、耐腐蚀的材料修建,且平坦、无积水、并保持清洁;车间出口及与外界相连的排水、通风处装有防鼠、防蝇、防虫设施。车间内墙壁、天花板和门窗使用无1毒、浅色、防水、防霉、不脱落、易于清洗的材料修建。5.室内气流控制:气流控制测试的类型要依洁净室的气流模式——是紊流还是单向流而定。墙角、地角、顶角应当具有弧度。
车间内的操作台、传送带、运输车、工器具应当用无1毒、耐腐蚀、不生锈、易清洗消毒、坚固的材料制作。应当在适当的地点设足够数量的洗手、消毒、干手设备或用品,水龙头应当为非手动开关。5μm,例如,1级、10级、100级无尘室z大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0。根据产品加工需要,车间入口处应当设有鞋、靴和车轮消毒设施。应当设有与车间相连接的更衣室。根据产品加工需要,还应当设立与车间相连接的卫生间。
版权所有©2024 产品网