清洁要求

(1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;

(2)、用90%去离子水和10%的异丙1醇配置清洁剂;

(3)、使用已获批准的洁净室专用去污剂;

(4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，无尘车间净化工程，并及时清走。

(5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。

(6)、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。

(7)、在洁净室里吸尘应使用带有高1效过滤器的专用真空吸尘器。

(8)、所有的门都需要检查并擦干

(9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

(10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。

(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。

无尘车间之构成结构无尘车间主要由以下系统构成:空气净化系统、消防系统、人1流物流系统、工艺管道系统、动力系统、照明系统以及维护结构及静电地面处理等系统。空调净化系统工程包含整个设备、器材的配套和建筑安装。

净化原理：1气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高1效净化风口→吹入房间→带走尘埃细1菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。

温湿度

洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，湘潭无尘车间，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，万级无尘车间，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

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