所采用的净化空调机组内有冷却、去湿、加热、加湿设备及粗、中、高三级过滤器时，可将机组设置在洁净室的外间或相邻的走道。出风口接管道至洁净室侧墙或吊顶，用格棚或其他散流装置向洁净室送风。回风从下侧墙回至外间或走廊与经粗过滤的新风混合后被吸入净化空调机组。新风宜由带小风扇和过滤器的新风机组送入，以保证外间或走廊相对于室外的正压。预真空灭菌器的装载量不得超过柜室容积90%，同时预真空和脉动真空压力蒸汽灭菌器的装载量又分别不得小于柜室容积的10%和5%，以防止“小装量效应”，残留空气影响灭菌效果。

无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，后经过超过滤网或过滤后，供应至Fab区。其灭菌参数如时间和温度由灭菌器性质、灭菌物品材料性质(带孔和不带孔)、是否裸1露而定。

另一类是按微粒某种物理性质间接进行测定和定义的，如沉降法、光电法确定的粒径，这实际上是一种当量直径或等价直径。前联邦德国标准VDI-2083就定义粒径为与测量方法有关的当量直径。即让在此直径下，作为参照微粒的某物理性质、物理量，相当于（等价于，等效于）该群微粒的某物理性质、物理量。例如，用光散射式粒子计数器测定时， “粒径”是指将所测微粒与标准粒子（如聚ben乙1烯1小球）作散射光强度的等效比较，而得到的综合效果（代表着某一个几何尺寸的范围）。地面可采用环氧自流坪地坪或高1级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。还可以测出微粒沉降速度，按第六章所述斯托克斯定律求出在静止空气中沉降速度与所测微粒沉降速度相等的、具有和微粒相同密度的球体直径，称为沉降直径，也称为斯托克斯直径，以dst表示，一般小于其他直径。

洁净厂房设计时，应认真了解和掌握洁净室内的生产设备的负荷率、开工率和运行时间的实际情况，实事求是地计算各类生产设备的发热量。由于供给生产设备的电能或其他能源，在产品生产过程中大部分转换给产品或由排风装置、冷却水装置带走，转入室内成为净化空调的一部分热负荷对于这一部分热量的计算与多种因素有关，因此需要认真、仔细了解并积累必要的基础数据，尽可能做到较为准确地计算生产设备的发热量，以便为恰当计算净化空调系统的热（冷）负荷提供依据。1)检查门框与橡胶垫圈有无损坏、是否平整、门的锁扣是否灵活、有效。