无尘室的定义:空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为洁净室。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。在钠焰法测尘中,用电子显微镜测得在送风气流中采样的某标本片上的823个氯化钠微粒的短边尺寸,假定读值时放大倍数为30000倍(即包含电镜放大倍数和对电镜照读数用的读数显微镜的放大倍数。作为生产设施,洁净室可以占据厂房很多位置。
如果设密度为1,则和微粒具有相同沉降速度的球体直径亦称为空气动力学直径,在环境科学中被广泛采用,以da表示,显然有 美国联邦标准209C至209E则说明可以用微粒的***1大视在线性长度,也可以用自动仪器量到的当量直径来表示粒径,即上述两类粒径中可用任何一种。1—2 —2平均粒径由于微粒形状极不相同,按上述方法得到的粒径对于一个微粒来说,也是不一样的这在实际应用中就很不方便。因此,必须确定一种能反映全部微粒某 种特征的粒径的平均数值,这就是“平均粒径”。江苏省目前有苏州高新区、苏州工业园区、南京江宁开发区、昆山开发区等6大电子信息产业基地,世界500强企业近1/3在江苏***,仅苏州地区就有90多家世界500强企业***近200个项目。它是用特殊的方法表示全部微粒某种特征的一个假设的微粒直径。
万级无尘室运行过程中的注意事项
1.生产工作停止时,排气柜应减小排风量,新风量亦应随之调小。
2.根据不同的工艺过程应能有效控制室内换气次数。
3.与一般空调系统相同,运行中在某些季节应尽可能利用自然的冷却作用(室外空气冷却、冬季利用冷却塔获得冷水)。
4.过渡季是否增加新风比,以及值班运行方式是否提前开动运行均应通过经济比较确定。
5.提高空调净化系统的自控水平,能够实现既保证运行质量,又能达到节能的目的。
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