无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，洁净室可以占据厂房很多位置。

微粒大小的量度通常以粒径表示。但是微粒特别是灰尘粒子并不都具有球形、立方形等规则的几何外形，因此通常所称微粒的“粒径”，并不是指真正球体的直径。在气溶胶及空气洁净技术中，“粒径”的意义通常是指通过微粒内部的某个长度因次，而并不含有规则几何形状的意义。在分析微粒大小的时候，“粒径”就是指的这种含意。 具体地说，粒径可分为两大类： 一类是按微粒几何性质直接进行测定和定义的，如显微镜法确定的粒径。例如，在灰尘采样以后，普通光学显微镜来观测时，使灰尘标本向一个方向移动通过测微尺，此时微粒投影通过这一标尺时，为标尺刻度线所切的两端的长度就代表粒径。

万级无尘室运行过程中的注意事项

1.生产工作停止时，排气柜应减小排风量，新风量亦应随之调小。

2.根据不同的工艺过程应能有效控制室内换气次数。

3.与一般空调系统相同，运行中在某些季节应尽可能利用自然的冷却作用（室外空气冷却、冬季利用冷却塔获得冷水）。

4.过渡季是否增加新风比，以及值班运行方式是否提前开动运行均应通过经济比较确定。

5.提高空调净化系统的自控水平，能够实现既保证运行质量，又能达到节能的目的。