预真空压力蒸汽灭菌器

（1）净化工程灭菌原理：利用机械抽真空的方法，使灭菌柜室内形成负压，蒸汽得以迅速穿透到物品内部进行灭菌。蒸汽压力达205.8kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃或以上，开始灭菌，到达灭菌时间后，抽真空使灭菌物品迅速干燥。根据一次性或多次抽真空的不同，分为预真空和脉动真空二种，后者因多次抽真空，空气排除更彻底，效果更可靠。

（2）灭菌方法：

1）预真空压力蒸汽灭菌方法：预真空压力蒸汽灭菌整个过程约需25min。

①将待灭菌的物品放入灭菌柜内，关好柜门；

②将蒸汽通入夹层，使压力达107.8kPa(1.1kg/cm2)，预热4min；

③启动真空泵，抽除柜室内空气使压力达2.0 kPa～2.7 kPa(排除柜室内空气98%左右)；

④停止抽气，向柜室内输入饱和蒸汽，使柜内压力达205.8 kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃，维持灭菌时间4min；

⑤停止输入蒸汽，再次抽真空使压力达8.0kPa，使灭菌物品迅速干燥；

⑥通入过滤后的洁净干燥空气，使灭菌室压力回复为零，温度降至60℃以下，即可开门取出物品。

人净区内各功能房间应顺人净路线为：非洁净走廊、换鞋、一次更衣室、二次更衣室、缓冲间、洁净内走廊。

洁净室内走廊与非洁净区至少维持30Pa正压压差。

这种压差建立基本原理是送风量大于回风量、排风量、渗漏风量来维持正压。通过洁净室的送入风量与排风量 压差风量(余风量)之间达到平衡便建立压差。

对全新风空气系统：新风量=排风量 压差风量

对循环空气系统：新风量 回风量=回风量 排风量 压差风量

归根到底洁净室压差，即新风量=排风量 压差风量，它们之间平衡关系建立。

总之，设计、施工和调试是保证净化系统正常运行的三个重要环节，通过调试我们可以对系统运行中出现的问题有所了解，从而可以完善设计方案，规范施工操作，避免以上问题的出现。调试工作是保证洁净室室内压差和洁净度是否达标的重要和必要环节。系统正常运行则属于正常的使用生产环节。

无尘室设计及工作环境的介绍

无尘室，也称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个洁净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用***1大颗粒大小来厘定的。低级别的洁净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。

无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、***等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，洁净室可以占据厂房很多位置。

无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，***后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。