无尘洁净室技术应用？

无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。

　 　无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

　　(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;

　　(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层。

脉动真空压力蒸汽灭菌方法：脉动预真空压力蒸汽灭菌整个过程需29 min～36min。

①将待灭菌的物品放入灭菌柜内，泉州暖通净化设计安装，关好柜门；

②将蒸汽通入夹层，使压力达107.8kPa(1.1kg/cm2)，预热4min；

③启动真空泵，抽除柜室内空气使压力达8.0 kPa；

④停止抽气，向柜室内输入饱和蒸汽，使柜室内压力达49kPa(0.5kg/cm2)，温度达106℃～112℃，关闭蒸汽阀；

⑤抽气，暖通净化设计安装联系方式，再次输入蒸汽，再次抽气，如此反复3次～4次；

⑥***后一次输入蒸汽，使压力达205.8 kPa(2.1kg/cm2)，温度达132℃，暖通净化设计安装供应，维持灭菌时间4 min；

⑦停止输入蒸汽，抽气，当压力降到8.0kPa，打开进气阀，使空气经高1效滤器进入柜室内，使内外压力平衡；

⑧重复上述抽气进气操作2次～3次；

⑨待柜室内外压力平衡(***到零位)，温度降至60℃以下，即可开门取出物品。

另一类是按微粒某种物理性质间接进行测定和定义的，暖通净化设计安装厂家，如沉降法、光电法确定的粒径，这实际上是一种当量直径或等价直径。前联邦德国标准VDI-2083就定义粒径为与测量方法有关的当量直径。即让在此直径下，作为参照微粒的某物理性质、物理量，相当于（等价于，等效于）该群微粒的某物理性质、物理量。例如，用光散射式粒子计数器测定时， “粒径”是指将所测微粒与标准粒子（如聚ben乙1烯1小球）作散射光强度的等效比较，而得到的综合效果（代表着某一个几何尺寸的范围）。还可以测出微粒沉降速度，按第六章所述斯托克斯定律求出在静止空气中沉降速度与所测微粒沉降速度相等的、具有和微粒相同密度的球体直径，称为沉降直径，也称为斯托克斯直径，以dst表示，一般小于其他直径。

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