无尘室的定义:空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为洁净室。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,医药无尘车间,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,洁净室可以占据厂房很多位置。
顺序地、无选择地逐粒进行量测,遇尘粒的长径则测其 长径,遇短径则测其短径。这里的长径和短径叫做定方向切线径,也称随遇直径,当被测微粒足够多时,结果能正确反映样本尘粒的平均断面。这样,对测定比较方便。但是也有规定只取投影***1大线距为微粒直径的,例如美国早年关于洁净室的几个标准就是如此。显然,这就必须在测定时旋转测微尺,印刷无尘车间,而且也不可能精1确确定***1大线距位置,所以日本的“洁净室中悬浮微粒测定法”(工业标准JIS)就说明不必旋转测微尺,而只要估测投影***1大径,并认为引起的误差很小。对于正方体也有采用对角线为其粒径的,那就要以√3乘以边长;如投影为矩形,可以取长短 边之平均值,也可以仍以短边为准,黄山无尘车间,换算成对角线粒径,下面讲到氯化钠微粒,机械加工无尘车间,因其晶体投影一般为方形,即用对角线法确定粒径。
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