无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，***后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。

(1)在回风口装空气阻尼层;

(2)排风管装电动密闭阀中效过滤器;

(3)余压阀，一般设在洁净室下风侧墙壁，采取此种措施时要求室内须有足够的剩余风量;

(4)调节回风阀或排风阀;

(5)调节新风阀;

(6)风机、风阀联锁控制;

(7)定期更换一些必要的过滤器。

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在净化空调系统中使用风机调频控制技术可节能；不但系统风量基本恒定，房间压力稳定；而且风机启动平稳同时可满足值班送风要求。

使用压差计除可直接指示洁净房间压差数值外，福建医药净化车间，还可安装在过滤器两端，监测过滤器的阻力变化，即通过过滤终阻力来制定过滤器的合理更换周期，做到过滤器更换更加合理科学。

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