净化工程施工有哪几个步骤

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无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，***后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。

还给出了分散式的另外两种形式，其一是与风机——高1效过滤器机组联系使用的方式，广州无菌车间，国内风机——高1效过滤器送风口的定型产品并不多，但带风机的单向流洁净棚，即习惯称呼为层流罩的产品有多家净化生产厂定型生产。其性质与所给图例是一致的。笔者参与的武汉某医科大学制剂车间就采用此种方式。

另外一种是由空调机组及加压风机、中、高1效过滤器构成的一间水平单向流洁净室，天津大学承接的石家庄某电子研究所的±0.1摄氏度、M3.5级恒温、恒湿洁净室就是采用些种形式来实现的。

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