根据状态、温度和离子密度,等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体(包子体和冷等离子体)。其中高温等离子体的电离度接近1,各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态,它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态,各种粒子温度并不相同。其中电子温度( Te)≥离子温度(Ti),可达104K以上,而其离子和中性粒子的温度却可低到300~500K。一般气体放电子体属于低温等离子体。
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低温等离子体设备
(1)外形尺寸:长×宽×高=2400mm×1100mm×4000mm
(2)设备重量: 1400kg
(3)设备处理能力:20,000 m3/h
(4)/大静电负压:-1000 Pa
(5)/大静电正压: 1000 Pa
(6)设备压阻:150 Pa
(7)进口气体含尘量:≤20 mg/m3
(8)进口气体湿度:<98%
(9)进口气体温度:<70℃
(10)功率:20 kW
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