超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。具有运行异常自我诊断(原水、预纯化水、超纯水的水质水量)，警示或系统自动停止运行。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有***、病毒、含氯二噁i英等有机物，当然也没有***所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。

优缺点:

1、种采用离子交换树脂其优点在于初***少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的***。

2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的***性。

3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水经i济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么***性。其缺点在于初***相对以上两种方式过于昂贵。

精密滤芯、活性炭滤芯、反渗透膜、纯化柱都是具有相对寿命的材料，精密滤芯和活性炭滤芯实际上是对反渗透膜的保护，如果它们失效，那么反渗透膜的负荷就加重，寿命减短，如果继续开机的话，那产生的纯水水质就下降，随之就加重了纯化柱的负担，则纯化柱的寿命就会缩短。之后再经过纯化和超纯化单元，对经过膜去除后残余的微少离子进行纯化和超纯化，使水中的离子含量降低到痕量水平。终结果是加大了超纯水机的使用成本。 　所以，在实验室超纯水机的使用中，有以下方面的事情需要注意。