提出了一种对机械振动等环境干扰不敏感的高分辨率光学轮廓仪，应用Ｎｏｍａ－ｒｓｋｉ微分干涉显微成象原理和相移干涉技术，实现了对表面微观轮廓的高精度***测量。仪器不需要标准参考反射镜和机械扫描机构，并且对机械振动等外界干扰不敏感，在不采取隔振和恒温等环境控制措施的一般实验室环境中，达到了优于０．１ｎｍ的垂直分辨率和０．２ｎｍ的表面轮廓高度重复测量精度。
高分辨率光学轮廓仪高宏，李庆祥，薛实福，顾晓渝（清华大学精密仪器与机械学系）【提要】本文提出了一种对机械振动等环境干扰不敏感的高分辨率光学轮廓仪，应用Ｎｏｍａ－ｒｓｋｉ微分干涉显微成象原理和相移干涉技术，实现了对表面微观轮廓的高精度***测量。