流量控制器

质量流量控制器在正常工作时，流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。

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流量控制器的稳定控制时间

由于到达设定值后控制器可能会发生超调，所以通常制造商用到达设定值且稳定后所需要的时间作为设备响应速度，并赋予波形振荡幅度一个容许范围。举个例子， 容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。一般质量流量控制器的精度在0.5%~2%之间，但一些制造商却将稳定容许范围扩大到10%。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值，那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。如下面示波器截屏图所示，控制器在27.6毫秒时到达了与设备精度(满量程的1%)等同的稳定容许范围。

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流量控制器的应用场合

1、公用工程---电﹑气﹑ 水处理的监控

质量流量控制器应用于管道的气体；通用系统；沼气；煤气；液化气；锅炉预热空气。

2、石油工业

能量交换；填井气回收； 燃气计量；气体质量分析；泄漏气测试；火炬气的监控。

3、电力行业

质量流量控制器应用于燃料系统中气体分配过程中的气体测量；锅炉及辅助系统中各种气体的测量；燃气炉中气体测量；氢气测量；电厂高炉的一次风、二次风的测量。

4、化学行业

烟气循环监测；采样系统中气体流量计量；引风机的气体流量计量；化肥厂氨气测量；电池工厂各种气体流量测量。

5、冶金行业

质量流量控制器应用于钢铁厂加气测量；炼铁厂高炉煤气的测量；焦化厂焦炉煤气的测量；轧钢厂加热炉燃气（高炉煤气、焦化煤气等）的测量控制；热处理淬火炉等的氢、氧、氮等气体的控制。

6、纸浆与造纸行业

废水处理系统中气体的测量；烟道流量监控；锅炉回收二次/三次空气；锅炉的燃气和空气送风测量。

7、食品行业

质量流量控制器应用于加工操作中新鲜空气的加入；

8、环保

质量流量控制器应用于沼气利用过程中的气体测量；污水处理过程中曝气池的气体测量；烟筒烟道排气监测SO2和NOX的排量。

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流量控制器安全使用准则

①质量流量控制器应用的成功与否，与安装有直接关系。除正常安装要求外，要特别注意减少振动影响，因为质量流量控制器是基于振动原理工作的，外加振动会引入干扰。因此由上式可知，若保持加热功率恒定，则测出温差便可求出质量流量。但尽可能小的外界干扰对测量无疑是有益的，所以对来自管线及现场环境的振动要尽量设法避免。

②仪表使用过程中在使用条件下有必要进行准确的零点标定，质量流量控制器属于在线使用的高度测量仪表，零点的漂移对测量结果有影响，长期使用时一定要定期进行标定。

③一定要避免超过使用质量流量控制器范围的情况发生，这会引起仪表测量度的下降，严重时会导致仪表损坏。例如由于超过仪表使用温度范围的蒸汽扫线等操作，将会使检测线圈损坏而使仪表无法再使用。

④质量流量控制器度高，其价格也很高，这就要求对其精心维护，如给其配备高质量的稳压电源，对现场的振动及使用条件进行经常检查等，以保证度及仪表的安全。