用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。

2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氨峰时，充气柜氦检漏设备***，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

空调检漏设备

真空系统检漏中不论是采用哪种气泡检漏法，应用中需要注意：

1、示漏气体的种类与压力会影响检测灵敏度。

2、充入气体的压力还要考虑被检件的机械强度。

3、被检件检测前需要进行充分的清洁，同时要在充好气后再放入液体中，防止堵塞漏孔。

4、区分虚漏与真漏，被检件放入液体中，其表面的吸附气体可能形成气泡，需要与漏孔形成的气泡加以区分，须将这些气泡抹掉后再进行观察。

5、观察时需要保证光线充足，液体清澈透明（皂膜法时尤其要注意皂液的稀稠度，过稀易流动滴落导致漏检，过稠易堵塞透明度差或形成气泡造成误检），观察背景要暗；同时被检件要稳，真空箱氦检漏设备***，距离水面要近，并保证水面平静。

真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记，并复查确认进行焊补，如果采用氢气作为示漏气体，要特别注意安全。

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充气开关柜检漏设备

由于工件内外压差不能大于0.04Mpa，抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，如果压力差超过设定值，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，泵自动运行，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。

电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，以及急停按钮，确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。

结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机，冷凝器氦检漏设备***，用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。

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