用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 ***，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，空调氦检漏设备维修，亦即本底噪声也

就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小(相对分子质量为4)，易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

真空箱氦检漏基本功能

操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。工艺流程编辑A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，氦检漏设备维修，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；B2：若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测；C1：若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，冷凝器氦检漏设备维修，小漏工件序号显示------检测程序中止；C2：若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。

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