检漏仪使用中注意事项

检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点：

①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。

②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

③检漏仪应按照说明书的要求定期进行***，***的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

本文介绍了3种检漏仪常见故障的分析与处理方法，氦质谱检漏仪品牌，其中仪器内部存在泄漏环节是一个易被忽视却又易产生故障的环节，当检漏部位的复检结果不一致时，就需检测仪器内部是否有漏。检漏仪内部结构紧凑，***难度大，本文采用切断分子泵风扇电源和使用小流量喷枪的方式，提高了密封部位***的能力。检漏仪是检漏工作的核心部件，在使用过程中应严格按照说明书的操作要求进行使用。文中以上出现的故障、现象的处理方式是本单位在多年使用过程中的一个总结和归纳。对检漏工作者具有一定的参考价值。

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氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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检漏仪的***注意事项

1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间

2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。

3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，国产氦质谱检漏仪品牌，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，便携式氦质谱检漏仪品牌，以免在检漏时干扰检漏工作。

4.检漏仪维修每隔一段时间***油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）

5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。

6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，便携式氦质谱检漏仪品牌，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。

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