电子工厂***别洁净厂房的建造特点

1 电子工厂生产工艺对受控环境的要求

电子工厂如大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)等微电子(IC)工厂；液晶显示器(LCD)、彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示器(PDP)以及发光二极管(LED)、有机电致发光显示器(OLED)、高分子有机电致发光显示器(PLED)等光电子工厂都离不开洁净的生产环境。生产所要求的环境不仅仅有：建筑围护、结构、空气、水以及气体、溶剂等原材料，而且还有声、光、电、磁、振等各种环境。例如：建筑的形式和层高、结构的承重、围护结构的装修材料；环境空气的洁净度、温湿度、静压力；水和气体的纯度和粒子、***的含量以及环境的噪声、照度、静电、电磁屏蔽、微振等等。总的来说，电子工厂生产工艺对环境的要求可用大、净、精、纯、严五个字来形容。

·大：生产工艺要求洁净室的面积越来越大。就拿彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)生产用洁净室的面积来说，5代TFT生产用洁净室的面积约28000m2；6代TFT洁净室的面积约40000m2；到了8代TFT生产用单间洁净室的面积就大到80000m2以上。洁净室内可停放20多架波音747飞机。

·净：电子工厂，尤其是微电子(IC)前工序和光电子(TFT-LCD)前工序的洁净室对环境洁净度的要求越来越净。例如，12时园片超大规模集成电路前工序光刻间的洁净度要求高达1级(0．1um)也就是每立方英尺空气中≥O．1um的粒子数不能超过1颗。相当于ISO1级。

·精：电子工厂生产工艺对环境空气温、湿度的控制精度要求越来越精。还以上述微电子的光刻间为例：其温度精度为士0．1℃，相对湿度的精度为士3％。

·纯：大规模集成电路前工序对生产用的高纯水、高纯气体以及高纯溶剂的纯度要求越来越纯。例如：对高纯水而言，不仅对其电阻率有要求，而且对高纯水中所含粒子、***以及其他元素的离子成份都有严格的要求，随着生产工艺的发展，对其纯度的要求也越来越高。可谓纯之又纯。

·严：电子工业生产不仅对环境的洁净度，温、湿度有严格的要求，同时对环境的声(噪声)、光(照度)、电(静电)、磁(电磁场屏蔽)、振(微振)等都有严格的要求。尤其微电子生产，对环境的分子级污染提出了新的严格的要求。分子污染是指环境空气中要严格控制例如钠(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等对半导体工艺***的元素。因此在处理空气时还要用淋水(淋自来水、淋纯净水)来吸收室外空气中的***分子成份和用化学过滤器来吸附新风中的***分子成份。

2电子工厂***别洁净室多采用混合流洁净室

为了降低洁净室的建造初***和运行能耗，电子工厂的***别洁净室一般把ISO 1级～ISO 5级这样高净化级别的垂直单向流用在工艺生产重要、关键的部位，用大面积的非单向流(ISO 6级～ISO 8级)替代大面积的单向流，也就是把垂直单向流与非单向流组合在一个洁净室内，构成混合流洁净室。

混合流洁净室的净化空调系统一般采用新风机组(MAU)加风机过滤器机组(FFU)加干冷盘管(DC)的送风方案。当前国内外微电子、光电子等大面积的生产厂房广泛采用的混合洁净室，具有调节方便、节能显著、灵活性强，适应电子工业工艺的更新换代，又能节能非生产面积和非生产空间等优点，是较佳的空气处理方案的送风系统。

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做好洁净室施工的要点

1、暖通***

良好的温湿度控制是电子行业洁净厂房的一个重要要求。只有准确有效的温湿度控制才能保证电子产品的质量。进行电子行业洁净厂房的温湿度控制时，一方面要做好绝热保温措施，另一个重要的方面就是搭建合理有效的暖通设备，以有效的调节室内温湿度。首先，要选择合适的暖通设备。电子行业洁净厂房结构不同，空间大小各异，生产的电子产品规格和型号不同对温湿度的要求也不同，在暖通设备的选择过程中要考虑自身具体的情况，以及温湿度调节的需求，选择适宜的暖通设备；其次，搭建暖通风管时也要谨慎认真，结合电子行业洁净厂房的结构进行搭建，确保温湿度控制的充分性和有效性。同时，化妆品厂净化厂房改造，要注意风管管路内部的清洁性和密封性，因为其中的粉尘有可能会渗透到电子产品的工作环境中，影响产品质量。

2、装修***

电子行业洁净厂房另一个重要的要求是洁净度。因此，在电子行业洁净厂房的施工过程中，一定要控制结构和材料，尽可能的使电子行业洁净厂房免受装饰材料的影响。在电子行业洁净厂房材料的选择中，要选用不积尘的材料，这样可以有效的避免尘埃的积累，电子厂净化厂房改造，保证电子产品生产过程中的清洁干净；在电子行业洁净厂房的施工中，药厂净化厂房改造，要注意结构的封闭性，这样即可以保证电子行业洁净厂房免受外界尘埃的影响，也可以起到一定的绝热作用，保证室内的温度适宜电子产品的生产和保存。

在电子产品的生产过程中，***的粉尘也会严重影响电子产品的质量。因此，电子行业洁净厂房的清洁要满足严格的标准。除此之外，保证室内均匀的气流分布，也是电子行业洁净厂房施工中要考虑的一个重要方面。如果室内的气流不稳定，那么湍急的空气会将粉尘带入电子产品的生产环节中，影响电子产品的质量。电子行业洁净厂房洁净度等级共划分为9个级别，1?5级的气流***为垂直或水平单向流洁净室，6?9级则采用非单向流即乱流。均匀气流分布主要作用在于限制和减少灰尘对工件或工作区域的污染。而电子行业洁净厂房的结构是室内气流分布的决定因素，在设计和施工中，要考虑到结果对气流的影响，施工结束后还应测试气流水平，符合其标准。

3、电气及自控

电子行业洁净厂房的电气设施和自控设备也是施工过程中的一个重要环节。电气设施是电子行业洁净厂房的核心，它的正常工作是电子产品有序生产的保证。在电气设施的安装过程中要考虑电子行业洁净厂房电子线路的总功率和线路结构，进行合理的选择和安装；同时自控设备也要具体考虑电子行业洁净厂房情况，合理选用和安装。另外，要注意自控设备的的合理性及及时性，注意节能。

净化空调系统是电子行业洁净厂房中的重要电气设施，是控制室内温湿度、气流风速和压力梯度的关键系统，系统中的过滤器更是承担着除尘的重要任务。因此在净化空调系统的施工中，一定要注意各个设备的质量，保证整个系统工作的有效性。施工完成后，还应对其工作效果进行测试，保证满足电子行业洁净厂房的标准。

4、施工时注意各工序之间的配合

在电子行业洁净厂房的施工过程中，朗洁万达以遵循先外后里，先主后次的原则。如果施工计划不合理，施工顺序混乱，会严重影响施工质量，为今后电子产品的生产带来不便与不良影响。因此，电子行业洁净厂房的施工首先要制定合理的施工计划，考虑各个施工环节之间的相互关系和相互影响，确保施工过程合理有序；其次，在施工过程中，要注意对以完成的施工项目进行保护；同时，在施工过程中要注意洁净，尽可能的避免产生大量粉尘，保证室内环境的清洁。

三、 结语

电子厂围护结构的密闭性，洁净室的洁净度，温湿度控制的有效程度以及电气设备的质量是电子行业洁净厂房的重要指标，会影响室内生产和存放的电子产品的质量。因此在电子行业洁净厂房的施工过程中要格外注意这些方面的施工质量，确保电子行业洁净厂房可以为电子产品的生产和存放提供一个适宜的环境。

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由于全程参与了一次配和二次配，我对本项目一次配的不足之处有以下几点发现：

1）要加强对材料的洁净管理，早期进场安装时，管道外包装被拆除，可安装后没有进行有效的成品保护，导致管道上灰尘较多，不符合洁净室的施工要求。此外，还有部分预留管道没有进行封堵，业主也将此问题提出。

2）要提高对标识的重要性的认识，下夹层柱子多，各种管道系统复杂，一定要考虑业主的使用方便，合理张贴标签，达到适用、方便、美观。

3）一次配的预留点不尽合理，从二次配的角度来看，支管预留阀门离设备还是比较远，如果确定一次配和二次配都有一家来做，可以进一步优化，使预留点离设备使用点近一些，节约二次配的材料。

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