FSCU 用途

将 FSCU 嵌入到应用系统中，FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器（如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止阀，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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流体系统

流体系统是与具体实际管网模型相对应的流动元件集合，各个流动元件都有实际的物理模型与之相对应。流体介质是流体系统中的流动物质，流体介质的状态和属性直接影响流体系统对流体介质的输运能力、热传导能力及其流体的作功能力。流体系统是由各种流动元件相互连接而成，流动元件包括流体存储元件、流体单向输运元件、流体多向输运元件。流体单向输运元件只有一个进口和一个出口，如各种管道、流体增压泵、气体压缩机等。流体多向输运元件主要用于分流和汇流，如三通接头、四通接头以及引射泵等。流体存储元件一般有流体体积或质量， 有一个或多个单向输运元件与之相连，其流量既可能流进，也可能流出。

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质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么？

(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

(2) 测量控制的自动化

质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~ 5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

(3) 定量控制流量

质量流量控制器可以控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

(4) 适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）

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