工业生产

流量仪表是过程自动化仪表与装置中的大类仪表之一，它被广泛适用于冶金、电力、煤炭、化工、石油、交通、建筑、轻纺、食品、农业、环境保护及人民日常生活等国民经济各个领域，是发展工农业生产，节约能源，改进产品质量，提高经济效益和管理水平的重要工具在国民经济中占有重要的地位。在过程自动化仪表与装置中，流量仪表有两大功用：作为过程自动化控制系统的检测仪表和测量物料数量的总量表。

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靶式流量计

于六十年代应用于工业流量测量，可测量：气体、液体、蒸汽的流量计量，主要用于解决高粘度、低雷诺数流体的流量测量，先后经历了气动表和电动表两大发展阶段，SST和SBL这两种智能靶式流量计是在原有应变片式靶式流量计测量原理的基础上 ，采用了新芯片Ⅱ级电容力式传感器作为测量和敏感传递元件，同时利用了现代数字智能处理技术而研制的一种新式流量计量仪表。

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如何选择气体流量控制器？

气体流量是部分大气等离子清洗机和真空等离子清洗机处理效果是否稳定的重要技术参数，不同类型的等离子清洗机、使用不同的工艺气体，对于气体流量控制器的选择会有所不同。

大气等离子清洗机的流量控制器选择

根据放电形式不同，大气等离子清洗机放电所需气体条件也是有讲究的。常见的射流型和射频型大气等离子清洗机，应该通入符合一定压力和流量要求的压缩空气（CDA），才会产生稳定的等离子体，以保证设备的正常运行。通常的流量控制方式是以调压阀和手动浮子流量计配合的方式来保证工作气压和气流的稳定。

大气等离子清洗机建议选用带有流量控制器的专用气源来为其提供稳定的工作气体。此装置的优点是携带方便、气源干燥清洁、压力和流量持续稳定。

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你对气体流量控制器了解多少？

注：单位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；单位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。通入不同的工艺气体，建议选择对应气体的专用质量流量控制器，以保证输入气体的稳定和计量；不同的工艺气体，分子大小不同、化学特性不同，使用同规格的质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。

如使用的是常规工艺气体，也可选择一种气体作为标准，只需保证流量稳定即可；但是对于H2、CF4等特殊气体，可燃具有腐蚀性的气体，必须使用专用的质量流量控制器。

实验型真空等离子清洗机机，通常对流量控制要求不是非常严格，纯手动操作的设备，也会选用手动浮子流量计。

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