质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

质量流量计概述

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主要特点

1. 适用多种介质

2. 测量准确度高

3. 无直管段要求

4. 可靠性好

5. 维修率低

6. 具有核心处理器

主要分类

质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另质量流量计一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。