质量流量计简介

质量流量：

以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如：毫升/分钟即 mL/min （SCCM行业标准）, 升/分钟即 L/min （SLM行业标准）. 标准状态为：气体温度—— 273.15K (0℃)； 气压——101325Pa(1atm)

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质量流量控制器简介

质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC)，它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。

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MFC质量流量控制简介

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MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。