质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，质量流量计代理，其他的气体以氮气为中心，空气质量流量计代理，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

质量流量计的原理

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目前，液体质量流量计代理，国内使用较为广泛的是热式气体质量流量计。

其原理如下：“在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体质量流量计代理，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定压比热容 A测量管绕组（即加热系统）与周围环境热交换系统之间的热传导系数； K -------仪表常数）

流量控制器的工作原理

流量控制器（流量计）利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号放大去驱动控制调节阀门。通过实时的流量检测闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

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