质量流量控制器简介

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使用范围： 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。

特点：流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小。

质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数（下面简称CF）。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体M。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

质量流量计简介

流体的体积是流体温度和压力的函数，是一个因变量，而流体的质量是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述，常用的流量计中，如孔板流量计、层流质量流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为质量。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求，通常还需要设法获得流体的质量流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后，通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的质量。这种测量方法，中间环节多，质量流量测量的准确度难以得到保证和提高。随着现代科学技术的发展，相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置，从而推动了流量测量技术的进步。

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